Eerst, ESA (Elektro Statische Aantrekkelijkheid) de elektrostatische adsorptie, zal het ernstige verontreiniging veroorzaken.
Wij weten dat het IC-productieproces een schone workshop of een ultra-schone workshop vereist. Nochtans, kunnen weinig binnenlandse fabrikanten bereiken dat er geen deeltje in de schone ruimte is. Nu vereist men dat de deeltjesgrootte van stofdeeltjes van originele 0.3μm aan huidige 0.1μm wordt verminderd, maar als de deeltjesgrootte van de geadsorbeerde stofdeeltjes groter is dan de lijnbreedte, is het gemakkelijk om het product af te danken.
Soms zullen de klanten vragen, hebben wij een goed werk van elektrostatische bescherming in het gehele proces gedaan om wafeltjes te produceren. Wij hebben al aan de grond zettend materiaal en gebruikte antistatische apparatuur aangesloten, en het reinigingsniveau is ook hoog. Waarom verlaten wij het voor een tijdje? Zal het nog as daarna zuigen? Dat is omdat de machines of de workshops dat opbrengst en proces de wafeltjes met FFU-hoog rendementfilters uitgerust zijn. Wanneer de luchtstroom tegen het product wrijft, zal de statische elektriciteit worden geproduceerd. Wanneer de statische elektriciteit aan een bepaald bedrag accumuleert, zal het stof aantrekken. Daarom stellen voor wij installerend een statische eliminator zonder luchtbron bij de bodem van de hoog rendementfilter om het dynamische saldo van de volledige ruimte te verzekeren.
Ten tweede, ESD (Elektro Statische Lossing) de elektrostatische lossing, zal het apparatenanalyse veroorzaken.
De elektrostatische lossing is het proces van lastenaccumulatie. Wanneer de last op een bepaald niveau accumuleert, wanneer een leider het nadert, zal de elektrostatische lossing voorkomen. Om een eenvoudig voorbeeld, in de droge winter te geven, kunnen de mensen statische elektriciteit gemakkelijk accumuleren na het lopen en het wrijven. Wanneer wij een metaalhandvat raken of een autodeur openen, zullen wij elektrische schok voelen. Dit is elektrostatische lossing. Over het algemeen, heeft het menselijke lichaam 3000 daar zal zijn een duidelijk lossingsgevoel wanneer de statische elektriciteit 5000V is.
Het zelfde is waar voor halfgeleidercomponenten. Als een halfgeleiderapparaat met een bepaalde hoeveelheid statische elektriciteit alleen of in een kringsmodule wordt geplaatst, onmiddellijk zal het worden opgesplitst. Nadat het apparaat door elektrostatische lossing wordt beïnvloed, kan het niet functioneel onmiddellijk worden beschadigd, maar het zal de betrouwbaarheid van de component beïnvloeden.
De verliezen door elektrostatische lossing worden veroorzaakt kunnen miljarden dollars bereiken per jaar dat. Daarom introduceren vele component en materiaalfabrikanten op grote schaal professionele technologie om de accumulatie van statische elektriciteit in het productiemilieu te verminderen.
Ten derde, EMI (Elektromagnetische Interferentie) de elektronische interferentie, zal het schade veroorzaken.
De elektrostatische lossing zal heel wat radiogolven uitstralen, en deze radiogolven hebben frequenties, die grote interferentie aan de omringende microprocessors, zoals chaotische programmainstructies, chaotische gegevens, onbekende foutenmeldingen, enz. zullen veroorzaken, en deze problemen worden over het algemeen niet ernstig genomen, maar zodra een defect voorkomt, het kwaad het reusachtig zal zijn brengt.
