De verpakkingsindustrie behoort tot het proces van de achterste deelproductie in de volledige IC-productie. In dit proces, voor plastic pakket IC, hybride IC of monolithisch IC, is er hoofdzakelijk wafeltje het verdunnen (het malen), wafeltjeknipsel (het ritsen), en kernlading. (Zelfklevend blad), druklassen (het plakken), verpakking (inkapseling), pre-geneest, het galvaniseren, druk, post-geneest, het snijden ribben, buissteun, post-verzegelt het testen, enz. Elk proces heeft verschillende eisen ten aanzien van verschillende procesmilieu's.
De invloed van elektrostatische factoren bij IC-de verpakking
Eerst en vooral, kan de oorzaak van statische elektriciteit overal worden gezien. Vandaag, met de snelle ontwikkeling van wetenschap en technologie en de hoge graad van automatisering in industriële productie, is het kwaad van statische elektriciteit in industriële productie reeds duidelijk. Het kan diverse hindernissen veroorzaken, de verbetering van automatiseringsniveau beperken en productkwaliteit beïnvloeden. Hier zijn de belangrijkste redenen voor de generatie van statische die elektriciteit op de daadwerkelijke situatie van onze fabriek in het verpakking en productie procédé wordt gebaseerd van geïntegreerde schakelingen.
1. De bouw en decoratiematerialen in de productieworkshop zijn meestal hoog-weerstandsmaterialen. Het IC-productieproces vereist het gebruik van een schone workshop of een ultra-schone workshop.
De deeltjesgrootte van stof-verwijderende deeltjes wordt vereist om van vorige 0.3μm tot 0.1μm worden veranderd, en de dichtheid van het stofdeeltje is over 353/m3. Daartoe, naast de installatie van divers materiaal van de stofinzameling, moeten de anorganische en organische stofvrije materialen worden gebruikt om stof te verhinderen. Nochtans, worden de elektroprestaties van bouwmaterialen niet beschouwd als indicator. Er is geen voorziening in de ontwerpspecificaties voor schone workshops van industriële ondernemingen. De belangrijkste die binnenhuisarchitectuurmaterialen in de schone workshop van IC-fabriek worden gebruikt zijn: polyurethaan elastische vloer, nylon, hard plastiek, polyethyleen, plastic behang, hars, houten, witte porseleinplaat, email, pleister, enz. De meeste bovengenoemde materialen zijn polymeersamenstellingen of isolatie. Bijvoorbeeld, is het weerstandsvermogen van plexiglaslichaam 1012~1014Ω/cm, en het weerstandsvermogen van polyethyleenlichaam is 1013~1015Ω/cm, zodat is het geleidingsvermogen vrij slecht, en de statische elektriciteit toe te schrijven aan wat reden is niet gemakkelijk om aan de aarde door hen te lekken, die in de accumulatie van statische elektriciteit resulteren.
2. Menselijk lichaams statische elektriciteit
De verschillende bewegingen en het lopen afwisselend van de schone ruimteexploitanten, de zolen van de schoenen en de grond zijn constant in dichte contact en scheiding, en diverse delen van het menselijke lichaam hebben ook activiteiten en wrijving. Of het snel loopt, het langzame zal lopen, of het draven, statische elektriciteit worden geproduceerd, die de zogenaamde het lopen last is; de menselijk lichaamstribunes omhoog na zich het bewegen. , Zijn de het werkkleren versleten door het menselijke lichaam en de stoeloppervlakte gescheiden na het contacteren van de stoeloppervlakte, en de statische elektriciteit zal ook geproduceerd worden. Als het elektrostatische voltage van het menselijke lichaam niet kan worden geëlimineerd en de IC-spaander wordt geraakt, kan het IC-analyse unknowingly veroorzaken.
3. Statische die elektriciteit door airconditioning en luchtreiniging wordt veroorzaakt
Aangezien IC-de productie relatieve vochtigheid 45-55% vereist, airconditioning en lucht moet de reiniging worden uitgevoerd. De ontwaterde lucht wordt verzonden naar de schone ruimte door de primaire filter, middelgrote efficiencyfilter, hoog rendementfilter en luchtleiding. Over het algemeen, is de windsnelheid van de belangrijkste luchtleiding 8~10m/s, en de binnenmuur van de luchtleiding is geschilderd. Wanneer de droge lucht en de luchtleiding, de droge lucht en de filter zich met betrekking tot elkaar bewegen, zal de statische elektriciteit worden geproduceerd. Men zou moeten opmerken dat de statische elektriciteit gevoeliger is voor vochtigheid.
Bovendien zal het vervoer van halffabrikaten en IC-producten statische elektriciteit tijdens verpakking en vervoer produceren, dat één van de factoren van statische elektriciteit is.
Ten tweede, is de schade van statische elektriciteit aan IC aanzienlijk. In het algemeen, heeft de statische elektriciteit de kenmerken van groot potentieel en sterk elektrisch gebied. Tijdens het elektrostatische laden en het lossen, worden de voorbijgaande hoge huidige lossing en de elektromagnetische impuls (EMP) soms gevormd, producerend elektromagnetische stralingsgebieden met een breed spectrum.
Bovendien vergelijkbaar geweest met conventionele stroom, is de elektrostatische energie vrij klein. In natuurlijke het elektrificatie-lossing proces, zijn de elektrostatische lossings (ESD) parameters niet te beheersen, en het is een willekeurig proces dat moeilijk is te herhalen. Daarom wordt zijn rol vaak beïnvloed door mensen. Genegeerd. Vooral op het gebied van micro-elektronicatechnologie, is het kwaad het aan ons veroorzaakt zich verbaast. Volgens rapporten, is het directe economische die verlies door statische elektriciteit wordt veroorzaakt zo hoog zoals honderden miljoen yuans elk jaar. De statische elektriciteit is een belangrijke hindernis voor de ontwikkeling van de micro-elektronicaindustrie geworden.
In de de productieworkshop van het halfgeleiderapparaat, wegens de adsorptie van stof op de spaander, zal de opbrengst van ICs, vooral zeer grote schaalgeïntegreerde schakelingen (VLSI), zeer verminderd worden. De exploitanten in de IC-productieworkshop dragen schone overall. Als het menselijke lichaam met statische elektriciteit wordt belast, is het gemakkelijk om stof en vuil te absorberen. Als deze stof en het vuil aan de verrichtingsplaats worden gebracht, zal het productkwaliteit beïnvloeden, zal productprestaties, verslechteren en zal Ic zeer Opbrengst verminderen. Als de straal geadsorbeerde stofdeeltjes groter is dan 100 μm en de lijnbreedte ongeveer 100 μm is, wanneer de filmdikte onder 50 μm is, moet het product zeer waarschijnlijk worden afgedankt.
Ten derde, heeft de schade van statische elektriciteit aan IC bepaalde kenmerken.
(1) het verbergen tenzij de elektrostatische lossing voorkomt, het menselijke lichaam kan geen statische elektriciteit direct waarnemen, maar het menselijke lichaam kan geen elektrische schok voelen wanneer de elektrostatische lossing voorkomt. Dit is omdat het elektrostatische die lossingsvoltage door het menselijke lichaam wordt ontdekt 2~3kv is, zodat wordt de statische elektriciteit verborgen.
(2) het potentieel vermogen wordt de prestaties van sommige gootstenen niet beduidend verminderd na wordt beschadigd door statische elektriciteit, maar de veelvoudige cumulatieve lossingen zullen interne schade aan IC-apparaten veroorzaken en zullen verborgen gevaren vormen. Daarom heeft de statische elektriciteit potentieel om IC te beschadigen.
(3) in welke omstandigheden kan willekeurig IC aan elektrostatische schade lijden? Men kan zeggen dat van de productie van een IC-spaander tot het wordt beschadigd, alle processen door statische elektriciteit worden bedreigd, en de generatie van statische elektriciteit ook willekeurig is. Zijn schade is ook willekeurig.
(4) de mislukkingsanalyse van complexe elektrostatische lossingsschade is tijdrovende, arbeid-intensieve, en dure toe te schrijven aan de fijne, fijne, en uiterst kleine structurele kenmerken die van micro-electronische IC-producten, geavanceerd technisch vereisen en vaak het gebruik van hoogst verfijnde instrumenten vereisen, maar toch zijn Sommige elektrostatische schadefenomenen ook moeilijk die van schade te onderscheiden door andere redenen wordt veroorzaakt; de mensen verwarren de mislukking van elektrostatische lossingsschade als andere mislukkingen, die vaak aan vroege mislukking of onbekende voorwaarden vóór het volledige begrip van elektrostatische lossingsschade de mislukking, dus unconsciously dekking omhoog de echte oorzaak van de mislukking worden toegeschreven. Daarom is het ingewikkeld om de schade te analyseren van statische elektriciteit aan IC.
Alles bij elkaar, is het noodzakelijk om een elektrostatisch beschermingssysteem op te zetten tijdens de verwerking, de productie en de verpakking van IC! IC dat productielijnen verpakt heeft striktere eisen ten aanzien van statische elektriciteit. om de normale bedrijfsvoering van de productielijn te verzekeren, wordt de algemene decoratie van antistatische bouwmaterialen uitgevoerd op de schone workshop, en al personeel dat en de schone workshop ingaat verlaat is uitgerust met antistatische kleding. Naast de goedkeuring van hardwaremaatregelen, kan het verpakkende bedrijf de relevante nationale normen en de daadwerkelijke situatie van het bedrijf volgen. De situatie heeft collectieve normen of specifieke vereisten in termen van antistatisch om met de normale bedrijfsvoering van IC geformuleerd samen te werken verpakkend productielijnen. Met de uitbreiding van de verpakkende lijnen van IC van mijn land, zijn de verbetering van verpakkingsmogelijkheden, de verhoging van verpakkingsverscheidenheden, en hogere eisen ten aanzien van productkwaliteit en opbrengst, navenant, diverse software en hardwarevereisten en de voorlichting van elektrostatische bescherming voor al vaklieden het Versterken belangrijker, en dit speelt ook en doet dienst als „belangrijkste rol“ en „onzichtbare moordenaar“ beïnvloedend de kwaliteit van onze producten. Daarom zal de elektrostatische bescherming een belangrijke kwestie in de volledige IC-industrie momenteel en in de toekomst zijn.
